光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長(zhǎng)建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度、非接觸的光學(xué)測(cè)量技術(shù)?;诠庾V共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級(jí)、快速精確測(cè)量的傳感器,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測(cè)量、位移測(cè)量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子、線寬測(cè)量、納米測(cè)試、超精密幾何量計(jì)量測(cè)試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描,直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測(cè)量速度。光譜共焦技術(shù)具有精度高、效率高等優(yōu)點(diǎn)。天津推薦光譜共焦
在塑料薄膜及透明材料薄厚測(cè)量層面,朱萬彬等闡述了光譜共焦傳感器在測(cè)量全透明平板電腦的平整度時(shí),由全透明平板電腦的折光率不同而引進(jìn)的測(cè)量誤差并進(jìn)行補(bǔ)償;曹太騰等基千三維數(shù)據(jù) 測(cè)量的機(jī)器視覺技術(shù),利用光譜共焦傳感器對(duì)透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚進(jìn)行檢測(cè)。在外表粗糙度測(cè)量層面,沈雪琴等闡述了不一樣 方式測(cè)量外表粗糙度時(shí)優(yōu)缺點(diǎn) ,選擇了根據(jù)光譜共焦傳感器的測(cè)量方式并進(jìn)行了有關(guān)試驗(yàn),為外表粗糙度的高精密測(cè)量提供了一種新方法;林杰俊等利用光譜共焦法測(cè)量外表粗糙度樣塊的表面粗糙度,并闡述了其 測(cè)量不確定度。文中利用小二乘法測(cè)算校準(zhǔn)誤差并進(jìn)行了離散系統(tǒng)誤差測(cè)算,減少光譜共焦傳感器校準(zhǔn)后的誤差,并在不同精密度標(biāo)準(zhǔn)器下,探尋光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)誤差的變化情況,對(duì)今后對(duì)光譜共焦傳感器的應(yīng)用及科學(xué)研究擁有重要意義。江西高采樣速率光譜共焦基于白光LED的光譜共焦位移傳感器是一種新型的傳感器。
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù)。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,于目標(biāo)材料分開和表面特性,因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過程變得越來越重要。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì),在這種過程中,觸覺測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí)。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度。此外,共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量、透明材料的多層厚度測(cè)量、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量。測(cè)量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實(shí)際上與表面特性無關(guān)。由于測(cè)量光斑尺寸極小,即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到。因此,共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制。
在容器玻璃的生產(chǎn)過程中,瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征。因此,必須檢查這些參數(shù)。任何有缺陷的容器都會(huì)立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合,需要快速的非接觸式測(cè)量程序。而光譜共焦傳感器適合這項(xiàng)測(cè)量任務(wù)。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量。數(shù)據(jù)通過 EtherCAT 接口實(shí)時(shí)輸出,厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量。無論玻璃顏色如何,自動(dòng)曝光控制都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級(jí)別。
由于每一個(gè)波長(zhǎng)都可以固定一個(gè)距離值,因此,通過將光譜山線峰值波長(zhǎng)確定下來,就可以將精確的距離值推算出來。假設(shè)傳感器與物體表面存在相對(duì)移動(dòng),此時(shí)物體表面的中心點(diǎn)恰好處在單色光(A1)的像點(diǎn)處,可以作出光譜儀探測(cè)到的光譜曲線。通過測(cè)量得到不同的波長(zhǎng)值,可以將物體表面不同點(diǎn)之間的相對(duì)位移值計(jì)算出來。如果配上精細(xì)的掃描機(jī)構(gòu),就可以對(duì)整體的二維表面輪廓及形貌進(jìn)行精確的測(cè)量。相比其他傳統(tǒng)的位移傳感器,光譜共焦傳感器憑借獨(dú)特的測(cè)量原理,具有測(cè)量效率高、精度高、體積小、非接觸等特點(diǎn),在各個(gè)領(lǐng)域都得到了大量的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將有助于解決現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)和生活中的問題。蕪湖光譜共焦哪個(gè)品牌好
光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式位移測(cè)量。天津推薦光譜共焦
硅片柵線的厚度測(cè)量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測(cè)量速度,以及±60°的測(cè)量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線測(cè)量方法:首先我們將需要掃描測(cè)量的硅片選擇三個(gè)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)掃描測(cè)量(由于柵線不是一個(gè)平整面,自身有一定的曲率,對(duì)測(cè)量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大)天津推薦光譜共焦