探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。探針臺(tái)建設(shè)需要綜合考慮技術(shù)、人力、資金等眾多因素。吉林探針臺(tái)工作原理
手動(dòng)探針臺(tái)的工作原理及應(yīng)用范圍。工作原理：手動(dòng)探針臺(tái)是普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍：手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。北京小型探針臺(tái)參考價(jià)探針臺(tái)是人類理解宇宙和了解人類自身的一個(gè)重要工具。
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)， 動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長(zhǎng)。而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報(bào)廢。
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類，縱觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺(tái)，可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即:以美國EG公司為表示的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對(duì)待。探針臺(tái)可以幫助科學(xué)家研究和觀測(cè)太陽系、銀河系乃至更遠(yuǎn)的星際空間。
手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要較少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試?？梢?4小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。探針臺(tái)能夠捕捉到宇宙中不同能量和波長(zhǎng)的輻射線，并運(yùn)用檔次高技術(shù)解析這些信息。真空溫控探針臺(tái)廠家現(xiàn)貨
探針臺(tái)的建設(shè)需要克服很多技術(shù)難題。吉林探針臺(tái)工作原理
半自動(dòng)型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"，可搭配Probe card測(cè)試，適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金），X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm，chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡，針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆，顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“，材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面+不銹鋼，可搭配Probe card測(cè)試，適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。吉林探針臺(tái)工作原理