產(chǎn)品介紹:FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒(Smif Foup 、Fosb 、Cassette ),可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心+熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動(dòng)清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。芯夢設(shè)備操作簡便,維護(hù)方便,降低你的生產(chǎn)成本!吉林FOUP清洗機(jī)怎么收費(fèi)
FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造行業(yè)中一種關(guān)鍵設(shè)備,專門用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是一種封閉式容器,用于存放和保護(hù)晶圓。FOUP清洗機(jī)通過自動(dòng)化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能,能夠去除FOUP內(nèi)的各種污染物,如油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。它采用先進(jìn)的清洗技術(shù)和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以確保徹底去除污染物,并不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。該設(shè)備具有高效性和自動(dòng)化特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差和風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí),清洗機(jī)通常配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程。FOUP清洗機(jī)還注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置能夠確保操作人員的安全。此外,清洗機(jī)通常具有數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對(duì)清洗過程進(jìn)行監(jiān)控和分析。綜上所述,F(xiàn)OUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中不可或缺的設(shè)備,通過高效、自動(dòng)化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性,為晶圓生產(chǎn)提供重要保障。中國澳門晶圓盒清洗機(jī)單價(jià)選擇我司設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加智能、自動(dòng)化!
提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。
我們的晶圓盒清洗機(jī)配備了高精度的傳感器和控制系統(tǒng),能夠精確控制清洗和干燥的時(shí)間和溫度,確保清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),提高生產(chǎn)效率。操作簡單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加高效!
應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)《晶四制造、集成電路、先進(jìn)封裝,整個(gè)芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業(yè)、片盒制造廠;
適用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產(chǎn)品,可定制清洗從50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本設(shè)備采用全自動(dòng)方式,上料端/下料端可適配工廠自動(dòng)傳檢線;將需要清潔的片盒放置在籃管內(nèi)一傳輸機(jī)構(gòu)依次將籃管傳到一級(jí)超聲清洗單元一一級(jí)噴洗單元一二級(jí)超聲清洗單元一二級(jí)嗎洗單元一一級(jí)干爆單元一二級(jí)干爆單元一下料單元一人工下料或?qū)庸S自動(dòng)傳輸線。芯夢設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式,滿足你的個(gè)性化需求!
5大系統(tǒng)結(jié)構(gòu):
純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風(fēng)烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。
25組清洗:
工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設(shè)定。
EN18822-H14:
高等級(jí)空氣過濾系統(tǒng);超純水0.1um過濾,CDA0.03um過濾。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量。
2倉2基地:
蘇州+上海快速響應(yīng)備件及現(xiàn)場技術(shù)服務(wù)壽命管理lifecycleManagement配備RFID數(shù)據(jù)讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng),方便客戶的數(shù)據(jù)管理Cassette使用情況江蘇芯夢的設(shè)備具有多種智能功能,助你輕松應(yīng)對(duì)生產(chǎn)挑戰(zhàn)!安徽半自動(dòng)FOSB清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)
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FOUP內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)殘留可以采取以下方法進(jìn)行去除:清洗劑清洗:使用適當(dāng)?shù)那逑磩┻M(jìn)行清洗,以去除FOUP內(nèi)的化學(xué)物質(zhì)殘留。選擇與殘留物化學(xué)性質(zhì)相匹配的清洗劑,并進(jìn)行適當(dāng)?shù)臎_洗或浸泡,以將化學(xué)物質(zhì)從FOUP表面去除。溶劑清洗:某些化學(xué)物質(zhì)可以通過溶劑清洗來去除。選擇適當(dāng)?shù)娜軇鶕?jù)化學(xué)物質(zhì)的性質(zhì)進(jìn)行清洗。溶劑可以幫助溶解和分離化學(xué)物質(zhì)殘留,并通過沖洗或浸泡的方式將其去除。氧化處理:一些化學(xué)物質(zhì)殘留可以通過氧化處理來去除。例如,使用適當(dāng)?shù)难趸瘎┗蜓趸郧逑磩?,如過氧化氫、臭氧等,可以將化學(xué)物質(zhì)氧化為更易去除的形式。洗滌劑清洗:使用專門設(shè)計(jì)用于去除化學(xué)物質(zhì)殘留的洗滌劑進(jìn)行清洗。這些洗滌劑通常具有針對(duì)特定化學(xué)物質(zhì)的配方,可以有效去除化學(xué)物質(zhì)的殘留。高溫處理:將FOUP加熱至較高溫度,以促使化學(xué)物質(zhì)殘留的揮發(fā)或分解。高溫處理可以通過熱解或蒸發(fā)的方式將化學(xué)物質(zhì)殘留去除。吉林FOUP清洗機(jī)怎么收費(fèi)
芯夢圍繞公司價(jià)值觀,服務(wù)、創(chuàng)新、奮斗、分享、團(tuán)結(jié),始終堅(jiān)持為客戶提供技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量過硬的自主可控的半導(dǎo)體設(shè)備,不斷追求質(zhì)量精益求精和環(huán)境友好,先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和ISO140001環(huán)境管理體系認(rèn)證。我們的全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、全自動(dòng)/半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)等產(chǎn)品均通過了SEMIS2、S8等國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。近年來,芯夢蓬勃發(fā)展,榮獲了國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省潛在獨(dú)角獸企業(yè)、蘇錫常首臺(tái)套重大裝備、江蘇省企業(yè)工程技術(shù)研究中心、江蘇省三星級(jí)上云企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。